[发明专利]一种单原子内嵌富勒烯的大批量制备方法在审

专利信息
申请号: 202110679392.9 申请日: 2021-06-18
公开(公告)号: CN113184831A 公开(公告)日: 2021-07-30
发明(设计)人: 周珅;谢方;程海峰;王珊珊;袁嘉悦;刘东青;祖梅;余金山 申请(专利权)人: 中国人民解放军国防科技大学
主分类号: C01B32/154 分类号: C01B32/154;C01B23/00
代理公司: 长沙国科天河知识产权代理有限公司 43225 代理人: 邱轶
地址: 410073 湖*** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 发明公开一种单原子内嵌富勒烯的大批量制备方法,首先采用湿法刮图方式在沉积基底上刮涂富勒烯薄膜层;再将刮涂有富勒烯薄膜层的沉积基底铜箔安装在卷绕电机上,利用卷绕电机将富勒烯薄膜层卷绕至离子束轰击区域可实现卷对卷连续化批量离子注入;最后通过离子源将反应室内的非金属气体或惰性气体电离,含非金属或惰性气体正离子的气氛经过离子枪屏极与加速极,加速形成含非金属或惰性气体正离子的离子束,该离子束经过中和电极发射出来的电子中和后,轰击在铜箔上的富勒烯薄膜层上,获得内嵌富勒烯。本发明提供的制备方法工艺简单,可实现大批量连续制备,同时该制备方法对非金属与惰性气体具有普遍适用性。
搜索关键词: 一种 原子 内嵌富勒烯 大批量 制备 方法
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