[发明专利]具有环形电极的薄膜体声波谐振器在审
| 申请号： | 202110681638.6 | 申请日： | 2021-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN113364422A | 公开（公告）日： | 2021-09-07 |
| 发明（设计）人： | 吴伟敏 | 申请（专利权）人： | 深圳市封神微电子有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02 |
| 代理公司： | 杭州昊泽专利代理事务所(特殊普通合伙) 33449 | 代理人： | 黄前泽 |
| 地址： | 518107 广东省深圳市光明区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了具有环形电极的薄膜体声波谐振器，包括衬底、压电堆叠结构、环形电极和接触电极；衬底上刻蚀有空腔，空腔上方设有压电堆叠结构；压电堆叠结构包括下电极、压电层和上电极；衬底以及空腔上设有下电极；下电极的面积大于空腔的面积；衬底以及下电极上沉积有压电层，压电层上沉积有上电极；压电层包裹下电极；上电极上沉积有互不接触的多圈环形电极；压电层中刻蚀有通孔一，通孔一刻蚀到下电极的上表面；压电层和下电极中刻蚀有与空腔连通的通孔二；通孔一中以及压电层上表面远离上电极的方向沉积有接触电极，接触电极与下电极相连。本发明的多个环形电极可有效抑制薄膜体声波谐振器的横波产生，提高薄膜体声波谐振器的Q值。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 环形 电极 薄膜 声波 谐振器 | ||
【主权项】：
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