[发明专利]压电MEMS执行器及其形成方法和运行方法在审
| 申请号： | 202110683421.9 | 申请日： | 2021-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN113709642A | 公开（公告）日： | 2021-11-26 |
| 发明（设计）人： | 张孟伦;孙晨 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | H04R19/02 | 分类号： | H04R19/02;B81B3/00;H01L41/09 |
| 代理公司： | 北京汉智嘉成知识产权代理有限公司 11682 | 代理人： | 姜劲;谷惠敏 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种压电MEMS执行器，包括一个或多个执行单元，每个所述执行单元包括：硅薄膜；位于所述硅薄膜的第一表面的第一压电层和第一电极结构；位于所述硅薄膜的第二表面的第二压电层和第二电极结构。该压电MEMS执行器在硅薄膜的两侧分别设置压电层，能够使得提高执行器的驱动力，从而执行器获得更大的位移、力或者转角。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 mems 执行 及其 形成 方法 运行 | ||
【主权项】：
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