[发明专利]基于低温喷射式制冷的单晶硅生产用除尘罐冷却系统在审
申请号: | 202110685373.7 | 申请日: | 2021-06-21 |
公开(公告)号: | CN113531946A | 公开(公告)日: | 2021-10-22 |
发明(设计)人: | 徐英杰;毛成斌;黄松林 | 申请(专利权)人: | 嵊州市浙江工业大学创新研究院 |
主分类号: | F25B19/02 | 分类号: | F25B19/02;F25B41/20;F25B41/24 |
代理公司: | 杭州浙科专利事务所(普通合伙) 33213 | 代理人: | 周红芳;朱盈盈 |
地址: | 312400 浙江省绍*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 基于低温喷射式制冷的单晶硅生产用除尘罐冷却系统,属于低品位热源利用系统技术领域。它包括恒温水箱、第一水泵、除尘罐、储热水箱、第二水泵及发生器,所述除尘罐的底部设有换热器,所述恒温水箱、第一水泵、设置在除尘罐底部的换热器、储热水箱、第二水泵及发生器之间依次连接形成回路;还包括制冷剂泵、冷凝器、喷射器及蒸发器。本发明系统采用多模式梯级制冷,既节约了系统的能耗,又能够在短时间内实现多个除尘罐的制冷,提高了经济效益;采用蒸汽喷射式制冷系统,具有热源稳定、运动部件少、设备安全性好、系统效率高等多个优点;通过设置的换热器,换热效率高,有效保证了除尘罐的安全性和系统高效制冷。 | ||
搜索关键词: | 基于 低温 喷射式 制冷 单晶硅 生产 除尘 冷却系统 | ||
【主权项】:
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