[发明专利]一种导流筒和拉晶炉有效
申请号: | 202110686468.0 | 申请日: | 2021-06-21 |
公开(公告)号: | CN113403675B | 公开(公告)日: | 2022-08-02 |
发明(设计)人: | 陈凡;张鹏举;张千千;郭超超 | 申请(专利权)人: | 西安奕斯伟硅片技术有限公司;西安奕斯伟材料科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙) 61253 | 代理人: | 李斌栋;沈寒酉 |
地址: | 710065 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明实施例公开了一种导流筒和拉晶炉;所述导流筒包括:由外导流筒上部和外导流筒下部于第一接合处接合形成的外导流筒;与所述外导流筒同轴设置并连接的内导流筒;与所述内导流筒在第二接合处接合且与所述外导流筒下部形成缝隙的导流筒套筒;其中,第一接合处和/或所述缝隙处经设置以避免多晶硅熔液飞溅填充而产生粘连。 | ||
搜索关键词: | 一种 导流 拉晶炉 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安奕斯伟硅片技术有限公司;西安奕斯伟材料科技有限公司,未经西安奕斯伟硅片技术有限公司;西安奕斯伟材料科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202110686468.0/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种新材料生产加工用加热设备
- 下一篇:一种膜电极压合成型装置