[发明专利]一种基于纳米石墨烯复合的金属表面涂层的工艺在审
申请号: | 202110687750.0 | 申请日: | 2021-06-21 |
公开(公告)号: | CN113388817A | 公开(公告)日: | 2021-09-14 |
发明(设计)人: | 李涛 | 申请(专利权)人: | 欧富众合数字科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/32 | 分类号: | C23C14/32 |
代理公司: | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人: | 范琳 |
地址: | 101108 北京市通*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了离子镀膜技术领域的一种基于纳米石墨烯复合的金属表面涂层的工艺,包括以下步骤:1.1金属表面预处理:对工件充分清洗,是提高附着力的前提;1.2进炉抽真空:将待镀工件安装在设备镀膜室内的转盘上,对镀膜室抽真空,真空达到6.6x 10‑3Pa,将镀膜室真空排气;1.3洗靶及离子清洗:用离子对待镀工件进行清洗;1.4镀膜:在涂层用的金属材料与处理炉之间进行电弧放电,金属材料会气化为等离子态,将镀膜元素离子化;1.5冷却出炉:将氮气或氦气注入处理炉中;1.6品控管理:利用关设备检查工件与涂层表面状况,本发明方法简单,只需要简单操作就可以形成涂层,从而改善零件的耐磨和耐腐蚀性。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 纳米 石墨 复合 金属表面 涂层 工艺 | ||
【主权项】:
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