[发明专利]一种含氟光刻胶酸敏树脂单体及其制备方法和应用在审

专利信息
申请号: 202110688911.8 申请日: 2021-06-22
公开(公告)号: CN113402495A 公开(公告)日: 2021-09-17
发明(设计)人: 傅志伟;邵严亮;余文卿;陆伟;郭有壹 申请(专利权)人: 徐州博康信息化学品有限公司
主分类号: C07D317/42 分类号: C07D317/42;C07D317/34;C07D319/06;C07D321/06;G03F7/004
代理公司: 合肥鸿知运知识产权代理事务所(普通合伙) 34180 代理人: 王金良
地址: 221300 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明属于光刻胶树脂单体,公开了一种含氟光刻胶酸敏树脂单体及其制备方法和应用,涉及光刻胶领域,该树脂单体的结构为:其中R1为氢或者甲基;R2为C1‑C12的饱和烷烃基,且烃基结构中的亚甲基可以被酯基、醚基、碳酸酯基替代;R3为为C1‑C12的饱和烷烃基;R4为全氟代或者部分氟代的C1‑C12的饱和烷烃基。该树脂单体与其它树脂单体聚合后形成光刻胶树脂,可以改善光刻图案的线边缘粗糙度,提高分辨率,在193nm浸没式光刻中,增加光刻胶的疏水性,形成良好光刻图案。
搜索关键词: 一种 光刻 胶酸敏 树脂 单体 及其 制备 方法 应用
【主权项】:
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