[发明专利]极紫外微影系统及其操作的方法在审
| 申请号： | 202110690854.7 | 申请日： | 2021-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN114911137A | 公开（公告）日： | 2022-08-16 |
| 发明（设计）人： | 孙于洸;赖政豪;陈宇桓;程薇心;蔡明训;陈鑫封;郑乔华;吴政轩;罗煜发;简上傑;陈立锐;刘恒信 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种极紫外微影系统及其操作的方法，操作极紫外微影系统的方法使用激光照射液滴而产生极紫外光。极紫外微影系统包括具有喷嘴的液滴产生器以及耦合至喷嘴的压电结构。液滴产生器输出液滴组。控制系统施加电压波形至压电结构，同时喷嘴输出液滴组。此电压波形使液滴组的液滴具有速度分布，导致液滴组的液滴在被激光照射之前聚结成一个液滴。 | ||
| 搜索关键词： | 紫外 系统 及其 操作 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于台湾积体电路制造股份有限公司，未经台湾积体电路制造股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110690854.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种清洁装置以及液位检测方法
- 下一篇：一种耐磨能力强的HDMI线
