[发明专利]一种覆铜陶瓷基板表面缺陷处理的方法在审
申请号: | 202110691597.9 | 申请日: | 2021-06-22 |
公开(公告)号: | CN113453437A | 公开(公告)日: | 2021-09-28 |
发明(设计)人: | 李炎;贺贤汉;陆玉龙;陈元华;马敬伟 | 申请(专利权)人: | 江苏富乐德半导体科技有限公司 |
主分类号: | H05K3/02 | 分类号: | H05K3/02;H05K3/00;B24B1/00;B24B27/00;B24B41/00;B24B41/047 |
代理公司: | 上海申浩律师事务所 31280 | 代理人: | 赵建敏 |
地址: | 224200 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及半导体技术领域。一种覆铜陶瓷基板表面缺陷处理的方法,包括以下步骤:步骤一,覆铜陶瓷基板入料,通过皮带输送,需抛刷面朝上;步骤二,覆铜陶瓷基板途径研磨段研磨;研磨段设有陶瓷刷辊以及不织布刷辊;步骤三,覆铜陶瓷基板途径抛刷段抛刷,抛刷段设有至少两个不织布刷辊;步骤四,覆铜陶瓷基板途径水洗段,通过喷淋水洗将研磨、抛刷的铜粉冲干净,并由铜粉回收机进行回收;步骤五,覆铜陶瓷基板途径干燥段。本专利可以有效的去除铜表面缺陷(如:疙瘩、皱皮等)。 | ||
搜索关键词: | 一种 陶瓷 表面 缺陷 处理 方法 | ||
【主权项】:
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