[发明专利]改善外延片波长均匀性的石墨基板

摘要

本公开提供了一种改善外延片波长均匀性的石墨基板，属于半导体技术领域。石墨基板包括多个子基板和连接轴，多个子基板的结构均相同，每个子基板均为扇形，多个子基板围绕连接轴的周向间隔布置，且多个子基板的一端均与连接轴连接；每个子基板的上表面均具有多个弧形区域，每个弧形区域内均具有用于容纳衬底的至少一个凹槽，且多个子基板上的同一弧形区域内的至少一个凹槽呈环形布置；从子基板的靠近连接轴的一端至子基板的远离连接轴的一端，每个弧形区域的厚度逐渐减小。在本公开提供的石墨基板上生长外延片，可以改善在石墨基板各凹槽内生长的外延片的波长均匀性。