[发明专利]一种显影装置在审
| 申请号： | 202110693788.9 | 申请日： | 2021-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN113359398A | 公开（公告）日： | 2021-09-07 |
| 发明（设计）人： | 唐兴友 | 申请（专利权）人： | 四川科尔威光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 成都市鼎宏恒业知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 51248 | 代理人： | 罗超 |
| 地址： | 610000 四川省成都市高新*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种显影装置，包括:喷液桩，其上设有至少两个对称分布的显影液雾化喷头和至少两个对称分布的纯水喷头；受液板，围绕喷液桩设置，且受液板倾斜设置；驱动齿轮，与受液板相连以驱动受液板围绕喷液桩旋转；接液槽，围绕喷液桩设置并位于受液板的下方，接液槽的底部设有接液槽出液口；排液槽，位于接液槽的下方，排液槽的底部设有排液槽出液口。采用雾化喷淋的方式，既能避免传统浸没式显影方式造成显影液中的有效成分浓度逐渐降低进而影响显影质量的问题，又能避免传统喷淋方式水压对光刻胶的外力破坏问题，并且受液板倾斜设置，解决了传统喷淋方式中平面旋转造成远近圆心处会有明显的显影程度差异的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 显影 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于四川科尔威光电科技有限公司，未经四川科尔威光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110693788.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：针管结构以及用于其的焊接方法
- 下一篇：一种机械驱动可调式餐桌
