[发明专利]一种体声波谐振器组件、制备方法以及通信器件有效
申请号: | 202110694766.4 | 申请日: | 2021-06-23 |
公开(公告)号: | CN113258900B | 公开(公告)日: | 2021-10-15 |
发明(设计)人: | 丁焱昆;杨清华;唐兆云;赖志国 | 申请(专利权)人: | 深圳汉天下微电子有限公司 |
主分类号: | H03H9/02 | 分类号: | H03H9/02;H03H9/17 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 孟金喆 |
地址: | 518057 广东省深圳市南山区粤海*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种体声波谐振器组件、制备方法以及通信器件。该体声波谐振器组件包括:基板;至少一个谐振单元,所述谐振单元位于所述基板的表面,所述谐振单元在垂直于所述基板的厚度方向上的尺寸小于所述谐振单元在平行于所述基板的厚度方向上的尺寸。本发明实施例提供的技术方案减小了体声波谐振器组件以及通信器件在垂直于基板厚度方向的尺寸。 | ||
搜索关键词: | 一种 声波 谐振器 组件 制备 方法 以及 通信 器件 | ||
【主权项】:
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