[发明专利]检查装置及其检查方法在审
| 申请号： | 202110697365.4 | 申请日： | 2019-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN113432542A | 公开（公告）日： | 2021-09-24 |
| 发明（设计）人： | 本脇淑雄 | 申请（专利权）人： | 发那科株式会社 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 刘煜 |
| 地址： | 日本国山梨县南都留*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种检查装置及其检查方法，检查装置(16)对具有涂层(CL)的检查对象物(W)进行检查，其具备：多个发光部(44)，它们对涂层(CL)照射截面为环形的光；拍摄部(46)，其拍摄涂层(CL)所反射的反射光；计数部(62)，其根据拍摄部(46)所拍摄到的图像，对每单位面积的环形的光像的个数进行计数；以及厚度判定部(64)，其基于计数部(62)所计数的环形的光像的个数，判定涂层(CL)的厚度的优劣。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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