[发明专利]识别方法、识别装置、半导体处理设备及可读存储介质在审
| 申请号： | 202110697412.5 | 申请日： | 2021-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN113421239A | 公开（公告）日： | 2021-09-21 |
| 发明（设计）人： | 陈鲁;佟异;肖遥;张嵩 | 申请（专利权）人： | 深圳中科飞测科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06T7/60 |
| 代理公司： | 深圳市沈合专利代理事务所(特殊普通合伙) 44373 | 代理人： | 沈祖锋 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种识别方法。识别方法用于识别特征图案阵列的偏转角度，每个特征图案包括位置已知的特征点，识别方法包括：选取一个特征点作为第一基准点；搜索与第一基准点共线的一个或多个特征点作为拟合点；拟合第一基准点与拟合点，以得到沿第一方向延伸的第一基准线；基于第一基准线识别特征图案阵列的偏转角度。本申请还公开了一种识别装置、半导体处理设备及计算机可读存储介质。通过在已知位置的特征点中选取第一基准点，并拟合第一基准点与一个或多个拟合点，以得到第一基准线，第一基准线反映了特征图案阵列的偏转角度信息，依据第一基准线可以识别到特征图案阵列的偏转角度。 | ||
| 搜索关键词： | 识别 方法 装置 半导体 处理 设备 可读 存储 介质 | ||
【主权项】：
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