[发明专利]一种支撑平台热膨胀的控制设备和方法在审
| 申请号： | 202110697646.X | 申请日： | 2021-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN113375542A | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | 雷知迪;邓荣兵;甄亭亭;高飞 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海高等研究院 |
| 主分类号： | G01B7/02 | 分类号： | G01B7/02 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 杨怡清 |
| 地址： | 201210 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种支撑平台热膨胀的控制设备，包括：微动台，安装在支撑平台上方，且微动台上安装有被支撑物；位移测量装置，包括参考位移支架，参考位移支架具有支撑部以及与支撑部成90°夹角的延伸部，支撑部平行于支撑平台的高度方向，延伸部平行并高于微动台的上表面，且延伸部上安装有位移传感器，位移传感器设置为感测微动台的上表面与位移传感器之间的距离；控制器，包括电压输入模块和电压输出模块，电压输入模块与位移传感器的信号输出端相连，电压输出模块与微动台的信号输入端相连。本发明还提供一种支撑平台热膨胀的控制方法，本发明结构简单稳定，易于操作，能够在提高束流中心观测精度的同时节约成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 支撑 平台 热膨胀 控制 设备 方法 | ||
【主权项】：
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