[发明专利]一种支撑平台热膨胀的控制设备和方法在审
申请号: | 202110697646.X | 申请日: | 2021-06-23 |
公开(公告)号: | CN113375542A | 公开(公告)日: | 2021-09-10 |
发明(设计)人: | 雷知迪;邓荣兵;甄亭亭;高飞 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海高等研究院 |
主分类号: | G01B7/02 | 分类号: | G01B7/02 |
代理公司: | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人: | 杨怡清 |
地址: | 201210 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及一种支撑平台热膨胀的控制设备,包括:微动台,安装在支撑平台上方,且微动台上安装有被支撑物;位移测量装置,包括参考位移支架,参考位移支架具有支撑部以及与支撑部成90°夹角的延伸部,支撑部平行于支撑平台的高度方向,延伸部平行并高于微动台的上表面,且延伸部上安装有位移传感器,位移传感器设置为感测微动台的上表面与位移传感器之间的距离;控制器,包括电压输入模块和电压输出模块,电压输入模块与位移传感器的信号输出端相连,电压输出模块与微动台的信号输入端相连。本发明还提供一种支撑平台热膨胀的控制方法,本发明结构简单稳定,易于操作,能够在提高束流中心观测精度的同时节约成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 支撑 平台 热膨胀 控制 设备 方法 | ||
【主权项】:
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