[发明专利]一种支撑平台热膨胀的控制设备和方法在审

专利信息
申请号: 202110697646.X 申请日: 2021-06-23
公开(公告)号: CN113375542A 公开(公告)日: 2021-09-10
发明(设计)人: 雷知迪;邓荣兵;甄亭亭;高飞 申请(专利权)人: 中国科学院上海高等研究院
主分类号: G01B7/02 分类号: G01B7/02
代理公司: 上海智信专利代理有限公司 31002 代理人: 杨怡清
地址: 201210 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明涉及一种支撑平台热膨胀的控制设备,包括:微动台,安装在支撑平台上方,且微动台上安装有被支撑物;位移测量装置,包括参考位移支架,参考位移支架具有支撑部以及与支撑部成90°夹角的延伸部,支撑部平行于支撑平台的高度方向,延伸部平行并高于微动台的上表面,且延伸部上安装有位移传感器,位移传感器设置为感测微动台的上表面与位移传感器之间的距离;控制器,包括电压输入模块和电压输出模块,电压输入模块与位移传感器的信号输出端相连,电压输出模块与微动台的信号输入端相连。本发明还提供一种支撑平台热膨胀的控制方法,本发明结构简单稳定,易于操作,能够在提高束流中心观测精度的同时节约成本。
搜索关键词: 一种 支撑 平台 热膨胀 控制 设备 方法
【主权项】:
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