[发明专利]晶元搜索方法、装置、电子设备及计算机可读存储介质有效
| 申请号： | 202110700883.7 | 申请日： | 2021-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN113426714B | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 周赞 | 申请（专利权）人： | 深圳新益昌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B07C5/36 | 分类号： | B07C5/36;B07C5/342;G06T7/00;G06T7/70 |
| 代理公司： | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人： | 梁立耀 |
| 地址： | 518000 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请提供一种晶元搜索方法、装置、电子设备及计算机可读存储介质，用于提高晶元搜索效率。该方法包括：获取晶圆的晶圆图及基准点的第一位置信息，晶圆图包含每个晶元的索引参数及位置参数，第一位置信息为基准点在扩充蓝膜前的位置信息；根据基准点的第一位置信息、索引参数和位置参数，生成晶元分布地图，晶元分布地图包括每个晶元相对于基准点的位置分布信息；根据第一位置信息和第二位置信息，确定扩充蓝膜前后的第一基准点距离变化量，第二位置信息为基准点在扩充蓝膜后的位置信息；根据第一基准点距离变化量对晶元分布地图进行修正，得到修正后的晶元分布地图；根据修正后晶元分布地图和执行设备的当前位置，确定最优路径和待吸取晶元。 | ||
| 搜索关键词： | 搜索 方法 装置 电子设备 计算机 可读 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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