[发明专利]一种多晶硅还原炉供电系统及其控制方法有效
申请号: | 202110701697.5 | 申请日: | 2021-06-24 |
公开(公告)号: | CN113346763B | 公开(公告)日: | 2021-12-21 |
发明(设计)人: | 谭兵;崔连润;曹进 | 申请(专利权)人: | 四川英杰电气股份有限公司 |
主分类号: | H02M5/12 | 分类号: | H02M5/12;G05F1/66;C01B33/021 |
代理公司: | 北京市领专知识产权代理有限公司 11590 | 代理人: | 张玲;王莹莹 |
地址: | 618000 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明涉及一种多晶硅还原炉供电系统及其控制方法,对硅芯进行击穿,并对硅芯进行供电维持加热,包括主变压器、输出调节单元、启动击穿单元、功率调节单元,且所述启动击穿单元至少包括两组;其中,主变压器的输出端与所述功率调节单元、至少两组启动击穿单元的输入端电气连接;至少两组启动击穿单元的输出端通过输出调节单元与硅芯电气连接,经隔离升压变压器对硅芯进行击穿;功率调节单元的输出端通过输出调节单元与硅芯电气连接,用于对击穿后的硅芯进行供电维持加热。本发明主要提高了供电系统的稳定性,节省了对硅芯的高压击穿时间和降低多晶硅还原炉供电系统的整体成本,提高了多晶硅的生产效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 多晶 还原 供电系统 及其 控制 方法 | ||
【主权项】:
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