[发明专利]一种采用大功率电子束蒸镀的双面卷绕镀膜机在审
| 申请号： | 202110704292.7 | 申请日： | 2021-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN113265623A | 公开（公告）日： | 2021-08-17 |
| 发明（设计）人： | 朱刚毅;朱刚劲;朱文廓 | 申请（专利权）人： | 广东腾胜科技创新有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/56 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 张晨 |
| 地址： | 526000 广东省肇庆市三榕*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种采用大功率电子束蒸镀的双面卷绕镀膜机，包括真空室，真空室内沿着基材运行路径依次设置有放卷辊、第一镀膜机构、第二镀膜机构、收卷辊；第一镀膜机构用于对基材的一面进行镀膜，第一镀膜机构包括第一镀膜辊和第一镀膜区，第一镀膜区内设有第一蒸发源；第二镀膜机构用于对基材的另一面进行镀膜，第二镀膜机构包括第二镀膜辊和第二镀膜区，第二镀膜区内设有第二蒸发源；真空室上还安装有第一电子枪和第二电子枪，第一电子枪发射的电子束朝向第一蒸发源，第二电子枪发射的电子束朝向第二蒸发源。本发明可连续进行双面蒸发镀膜，并且大功率电子束蒸发镀膜的能量大，膜层沉积效率高，能够实现大幅宽基材的大批量均匀成膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 采用 大功率 电子束 双面 卷绕 镀膜 | ||
【主权项】：
暂无信息
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