[发明专利]ITO靶材的制备方法在审
| 申请号： | 202110704806.9 | 申请日： | 2021-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN113321490A | 公开（公告）日： | 2021-08-31 |
| 发明（设计）人： | 雷雨;周志宏;肖世洪;周昭宇;汪政军;刘芳 | 申请（专利权）人： | 广州市尤特新材料有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/01 | 分类号： | C04B35/01;C04B35/457;C04B35/622;C23C14/08;C23C14/35 |
| 代理公司： | 广州永华专利代理有限公司 44478 | 代理人： | 劳觅 |
| 地址： | 510880 广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种ITO靶材的制备方法，该方法收集在造粉步骤之后，未经成型烧结的粒径不符合生产要求的ITO复合粉体进行回收制备步骤，使用特定的温度进行煅烧，就能在避免晶向定型的情况下，去除ITO复合粉体内的有机物杂质，使ITO复合粉体还原分散成小颗粒的氧化铟和氧化锡混合粉末，再重新执行造粉步骤就能得到粒径符合生产要求的ITO复合粉体，由此得到的ITO复合粉体不易发生团聚，能避免成型压制生坯的过程中出现较多气孔，制备得到的ITO靶材烧结密度高。本发明提供的ITO靶材的制备方法工艺简单，且回收制备步骤中未使用对环境有污染的试剂，更环保。 | ||
| 搜索关键词： | ito 制备 方法 | ||
【主权项】：
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