[发明专利]一种用于测量压力的石墨烯复合结构传感器在审
| 申请号： | 202110706788.8 | 申请日： | 2021-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN113405704A | 公开（公告）日： | 2021-09-17 |
| 发明（设计）人： | 李艳;杨福铃;梁帅;赵梦宇;肖屹峰 | 申请（专利权）人： | 中国矿业大学（北京） |
| 主分类号： | G01L1/24 | 分类号： | G01L1/24 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 李晓莉 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于测量压力的石墨烯复合结构传感器，包括PDMS层、石墨烯层、融合光波导层。融合光波导层包括Y分支型输入分束器、干涉臂和参考臂、Y分支型输出合束器。基于石墨烯特有的光学性质，压力作用下，输出光谱中干涉波谷的漂移量发生改变。与传统的压力传感器相比，本发明提供的石墨烯复合结构传感器抗电磁干扰、环境适用性好、灵敏度高、响应时间快且改善了马赫曾德尔型压力传感器有效压力测量范围小的缺点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 测量 压力 石墨 复合 结构 传感器 | ||
【主权项】：
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