[发明专利]一种硅铝旋转靶材的加工方法在审
| 申请号： | 202110708259.1 | 申请日： | 2021-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN113458722A | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 钱增杰;黄宇彬;童培云;朱刘 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料有限公司 |
| 主分类号： | B23P15/00 | 分类号： | B23P15/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供了一种硅铝旋转靶材的加工方法，涉及靶材加工技术领域。本发明提供的硅铝旋转靶材的加工方法包括以下步骤：(1)上车床切凹槽到背管；(2)锯床锯切；(3)返回车床车削凹槽；(4)加工端面。本发明技术方案通过在锯切前将靶材加工到不锈钢背管，直接从不锈钢背管锯切，锯切时需压紧靶材力度为8斤力或以下；再在锯切后进行加工凹槽、加工端面处理，可以有效防止硅铝靶材加工过程中出现开裂、崩边现象，降低了生产过程中的能耗的现象，经加工后的硅铝旋转靶材呈现灰银色，性能优越、外观完美。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 加工 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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