[发明专利]一种判断砷化镓晶体中线性孪晶长度的方法有效
| 申请号： | 202110709208.0 | 申请日： | 2021-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN113427651B | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 刘建忠;刘火阳;周铁军;易明辉 | 申请（专利权）人： | 广东先导微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00;G06F17/11;C30B33/10;C30B29/42 |
| 代理公司： | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人： | 李琼芳;肖小龙 |
| 地址： | 511517 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种判断砷化镓晶体中线性孪晶长度的方法，包括以下步骤：S1.预处理晶片，测量晶片头部一端线性孪晶的任意一端点到晶片侧面的垂直距离；S2.根据线性孪晶和晶体角度偏转的方向和角度有关联性，得出线性孪晶长度计算公式；S3.通过计算的切割长度，按照切割的长度，对待检测晶片切除相应的孪晶。本发明的方法推算出一种切除长度的方法，改变了传统采用分肉眼识别及经验判断来切除线性孪晶；可以一步到位计算出线性孪晶所需切除长度，减少返工次数及重复返工可能造成的晶体有效长度损耗，大大地提高了生产效率及产品质量及稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 判断 砷化镓 晶体 线性 长度 方法 | ||
【主权项】：
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