[发明专利]一种磁悬浮旋转运动装置有效
| 申请号： | 202110710564.4 | 申请日： | 2021-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN113422539B | 公开（公告）日： | 2022-12-13 |
| 发明（设计）人： | 胡兵;陈懋毓 | 申请（专利权）人： | 上海隐冠半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | H02N15/00 | 分类号： | H02N15/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 陈宏 |
| 地址： | 200135 上海市浦东新区自*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及半导体集成电路装备技术领域，公开一种磁悬浮旋转运动装置。其中磁悬浮旋转运动装置包括磁悬浮转子机构、磁悬浮定子机构和测量机构，磁悬浮转子机构包括同轴设置的姿态调整转子组件和旋转转子组件；磁悬浮定子机构包括同轴设置的姿态调整定子组件和旋转定子组件，姿态调整定子组件在竖直方向对应于姿态调整转子组件，姿态调整定子组件设置为能够驱动姿态调整转子组件进行悬浮姿态调整；旋转定子组件对应于旋转转子组件，旋转定子组件设置为能够驱动旋转转子组件进行悬浮旋转；测量机构设置为对磁悬浮转子机构进行悬浮状态测量和旋转状态测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁悬浮 旋转 运动 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海隐冠半导体技术有限公司，未经上海隐冠半导体技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110710564.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
