[发明专利]一种体声波谐振器及改进其聚能结构的方法有效
申请号: | 202110710950.3 | 申请日: | 2021-06-25 |
公开(公告)号: | CN113452340B | 公开(公告)日: | 2023-08-15 |
发明(设计)人: | 费春龙;安再芳;谌东东;娄利飞;赵建新 | 申请(专利权)人: | 西安电子科技大学 |
主分类号: | H03H9/17 | 分类号: | H03H9/17;H03H9/02 |
代理公司: | 天津市君砚知识产权代理有限公司 12239 | 代理人: | 刘雅爽 |
地址: | 710000 陕*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开了一种体声波谐振器及改进其聚能结构的方法,该体声波谐振器包括衬底、底电极层、压电层、顶电极层及聚能框架结构;所述聚能框架结构根据等效声阻抗要求可调,所述聚能框架结构根据等效阻抗要求调整时,包括:根据等效声阻抗要求选择聚能框架结构的材料;根据选定的材料调整聚能框架结构各部分的长度。本发明实现了聚能结构长度和材料的灵活选择,便于谐振器整体结构调整。同时可以在满足声阻抗失配的条件下,优选合适的框架结构,实现多种寄生模态声波的反射,达到提高谐振器品质因数的目的。 | ||
搜索关键词: | 一种 声波 谐振器 改进 结构 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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