[发明专利]一种含水性感光树脂及其光致抗蚀剂干膜在审
| 申请号： | 202110712446.7 | 申请日： | 2021-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN113419403A | 公开（公告）日： | 2021-09-21 |
| 发明（设计）人： | 刘罡 | 申请（专利权）人： | 江西惠美兴科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/027;C08F220/18;C08F220/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 341000 江西省赣州*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明制备了一种含水溶性丙烯酸酯感光树脂及其光致抗蚀剂干膜，该抗蚀剂干膜主要含（1）水溶性丙烯酸树脂、（2）光聚合化合物、（3）光起始剂及（4）其它助剂等原料。其可作为光阻涂料用于干膜光阻，并最终应用于印刷电路板等电子元器件的生产。其中水溶性丙烯酸酯由一定比例的2‑乙基丙烯酸、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸丙酯、丙烯酸丁酯甲基、丙烯酸仲丁酯及丙烯酸异辛酯等合成而得。该光致抗蚀剂干膜的分辨率、附着力性能及线路尺寸稳定性优良，在印刷电路及其他电子元器件上具有广阔的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 水性 感光 树脂 及其 光致抗蚀剂干膜 | ||
【主权项】：
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