[发明专利]一种红外微桥结构及红外探测器有效
| 申请号： | 202110713219.6 | 申请日： | 2021-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN113447149B | 公开（公告）日： | 2023-03-24 |
| 发明（设计）人： | 翟光杰;潘辉;武佩;翟光强 | 申请（专利权）人： | 北京北方高业科技有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/24 | 分类号： | G01J5/24 |
| 代理公司： | 北京开阳星知识产权代理有限公司 11710 | 代理人： | 安伟 |
| 地址： | 100070 北京市丰台*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开涉及一种红外微桥结构及红外探测器，红外微桥结构中，CMOS测量电路系统和CMOS红外传感结构均使用CMOS工艺制备，沿远离CMOS测量电路系统的方向，梁结构依次包括第一介质层、电极层和第二介质层，柱状结构为实心柱状结构且包括实心结构，电极层包覆实心结构的侧壁以及实心结构临近CMOS测量电路系统的表面，对应柱状结构所在位置，至少电极层远离实心结构的侧壁包覆有第一介质层。通过本公开的技术方案，解决了传统MEMS工艺红外探测器的性能低，像素规模低，良率低以及一致性差等问题，提高了红外探测器的结构稳定性，有利于实现红外探测器的小型化，有利于降低红外探测器的制备难度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 红外 结构 红外探测器 | ||
【主权项】：
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