[发明专利]一种用于泄漏检测的氢气传感器及其敏感元件的制备方法在审
| 申请号： | 202110714196.0 | 申请日： | 2021-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN113465838A | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 何镧;刘佳琪;王成宇;黄雷 | 申请（专利权）人： | 杭州超钜科技有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/20 | 分类号： | G01M3/20;G01N27/12 |
| 代理公司： | 杭州创信知识产权代理有限公司 33383 | 代理人： | 杨燕霞 |
| 地址： | 310012 浙江省杭州市西湖*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种用于泄漏检测的氢气传感器及其敏感元件的制备方法。氢气传感器包括一个一端有进气口和测量探针、另一端有出气口和加热探针的气室，气室内有一个敏感元件，敏感元件包括基板及设在其正面、背面的测量电极和加热电极，测量电极和测量探针相连，加热电极和加热探针相连，加热电极上覆盖有屏蔽层，测量探针、加热探针还分别和位于气室外的信号电路电连接。敏感元件的制备方法为：采用真空镀膜方法将多壁碳纳米管负载钯‑金核壳粒子粉末镀制于基板正面，纳米光刻后形成测量电极；将铂粉末真空溅射于基板背面，纳米光刻后形成加热电极；采用脉冲激光沉积法形成氮化硅薄膜作为屏蔽层覆盖在加热电极上。本发明测氢灵敏度高，达到ppb级。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 泄漏 检测 氢气 传感器 及其 敏感 元件 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于杭州超钜科技有限公司，未经杭州超钜科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110714196.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
