[发明专利]基于二维材料的双异质结构的柔性光电探测器及其制备工艺

摘要

本发明公开了一种基于二维材料的双异质结构的柔性光电探测器及其制备工艺。该探测器包括聚对苯二甲酸乙二酯基底(PET)、单层二硫化钼、石墨烯、碳纳米管薄膜和金属电极。该探测器一共有两对异质结，分别是碳纳米管薄膜/石墨烯异质结和石墨烯/单层二硫化钼异质结。通过碳纳米管薄膜/石墨烯/单层二硫化钼双异质结的内建电场作用，既可以拓宽光谱响应范围，也可以使该器件在无偏压下可以进行光探测，增强器件的光响应强度。由于器件制备采用的材料都是二维材料，所以器件为柔性可弯曲结构，并且制备工艺操作简单，可靠性强。本发明有助于拓宽光电探测器的应用范围，突破二硫化钼的光谱响应范围，实现技术创新。