[发明专利]光电子能谱仪XPS加热测试专用样品槽有效
申请号: | 202110717569.X | 申请日: | 2021-06-28 |
公开(公告)号: | CN113504253B | 公开(公告)日: | 2023-06-16 |
发明(设计)人: | 徐静;马倩茹;贺英;侯雪玲 | 申请(专利权)人: | 上海大学 |
主分类号: | G01N23/2204 | 分类号: | G01N23/2204;G01N23/2273 |
代理公司: | 北京博尔赫知识产权代理事务所(普通合伙) 16045 | 代理人: | 于武江 |
地址: | 200444*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种光电子能谱仪XPS加热测试专用样品槽设计和应用,首先需要制作一定尺寸可放置粉末颗粒、纤维、液体等样品的耐高温圆形小容器,其次制作一定尺寸固定圆形小容器的长方形超薄金属底座,可有效避免传输进样时样品倾洒污染仪器分析室。两者合成材料必须为耐高温Zr合金金属材料,耐高温温度范围可根据实际需求做相应调整。这种专用样品槽设计方便,成本较低,可广泛应用于金属材料、生物材料、薄膜材料、催化剂材料、纳米材料、木材、半导体、微电子等各种有机无机材料,本发明在各领域有着广阔的应用前景。 | ||
搜索关键词: | 光电子 能谱仪 xps 加热 测试 专用 样品 | ||
【主权项】:
暂无信息
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