[发明专利]一种压电精密气体流量阀的复合控制系统及方法在审
| 申请号： | 202110718302.2 | 申请日： | 2021-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN113359421A | 公开（公告）日： | 2021-09-07 |
| 发明（设计）人： | 李传江;邓徽;王明月;朱燕飞;顾亚 | 申请（专利权）人： | 上海师范大学 |
| 主分类号： | G05B11/42 | 分类号： | G05B11/42 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 丁云 |
| 地址： | 200234 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种压电精密气体流量阀的复合控制系统及方法，该系统包括：前馈补偿控制器，采用改进PI迟滞模型的逆模型作为前馈补偿控制器，所述的前馈补偿控制器的输入为压电精密气体流量阀的目标流量，输出为补偿控制电压；模糊自适应PID反馈控制器，所述的模糊自适应PID反馈控制器的输入为压电精密气体流量阀的目标流量与实际流量的误差以及误差变化率，输出反馈控制电压；累加驱动控制器，用于将所述的前馈补偿控制器输出的补偿控制电压和模糊自适应PID反馈控制器输出的反馈控制电压累加作为压电精密气体流量阀的输入电压控制其运行。与现有技术相比，本发明具有控制精度高、响应速度快等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压电 精密 气体 流量 复合 控制系统 方法 | ||
【主权项】：
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