[发明专利]一种基于等离子体复合热扩渗制备减摩自润滑复合层的方法有效

专利信息
申请号: 202110719868.7 申请日: 2021-06-28
公开(公告)号: CN113430485B 公开(公告)日: 2022-09-20
发明(设计)人: 闫牧夫;姚佳伟;闫扶摇;张雁祥;陈宝凤;朱磊;杨莹;龙邦篆;徐跃明 申请(专利权)人: 哈尔滨工业大学
主分类号: C23C8/26 分类号: C23C8/26;C23C8/32;C23C8/46;C23C8/58
代理公司: 哈尔滨华夏松花江知识产权代理有限公司 23213 代理人: 侯静
地址: 150001 黑龙*** 国省代码: 黑龙江;23
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摘要: 一种基于等离子体复合热扩渗制备减摩自润滑复合层的方法,本发明涉及一种制备减摩自润滑复合层的方法。本发明要解决现有类金刚石薄膜沉积方式对设备要求高,操作过程复杂,且产生的薄膜附着力差的问题,解决现有钢基体直接等离子体渗碳产生的薄膜厚度有限,适用钢种受基体碳含量影响的问题。方法:一、预处理;二、渗氮或氮碳共渗处理;三、等离子体渗碳或等离子体碳氮共渗处理。本发明用于等离子体复合热扩渗制备减摩自润滑复合层。
搜索关键词: 一种 基于 等离子体 复合 热扩渗 制备 润滑 方法
【主权项】:
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