[发明专利]一种卷绕式ITO镀膜设备及其使用方法在审
| 申请号： | 202110722545.3 | 申请日： | 2021-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN113463049A | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 何强民;宋永进 | 申请（专利权）人： | 深圳市康盛光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人： | 黄勇;任志龙 |
| 地址： | 518100 广东省深圳市龙华*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本申请涉及真空卷绕镀膜技术的领域，尤其是涉及一种卷绕式ITO镀膜设备及使用方法，其包括真空仓、抽气装置、端盖、以及导膜组件；所述真空仓与设置在地面上的基座固定连接，所述端盖与真空仓的一端可拆卸配合，所述端盖与基座之间设有固定组件，端盖与真空仓配合安装时，固定组件能够将端盖与基座固定连接。本申请具有提高真空仓与端盖的稳定性的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 卷绕 ito 镀膜 设备 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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