[发明专利]动态随机存取存储器及其形成方法

摘要

一种动态随机存取存储器及其形成方法，动态随机存取存储器包括：衬底，衬底具有相对的第一面和第二面，衬底包括若干有源区，各有源区均包括若干沟道区和若干字线区；位于字线区内的字线栅结构；位于沟道区内的第一源漏掺杂区；位于每个沟道区内的第二源漏掺杂区；位于第一面上的若干电容结构；位于相邻的有源区之间的隔离结构，且隔离结构表面相对于第二面凹陷；位于第二面上的介质层，介质层和隔离结构之间具有空腔；位于介质层内的若干位线层。由于空腔能够减小相邻有源区之间的介电常数，进而能够减小与有源区电连接的相邻位线层之间的介电常数，以此降低相邻位线层之间的寄生电容，进而提升最终形成的动态随机存储存储器的性能。