[发明专利]动态随机存取存储器及其形成方法

摘要

一种动态随机存取存储器及其形成方法，其中动态随机存取存储器包括：衬底，衬底包括若干沟道柱区，沟道柱区包括若干间隔排布的第一沟道柱和若干第二沟道柱，若干第一沟道柱具有第一中轴线，若干第二沟道柱具有第二中轴线，第一中轴线与第二中轴线不重合；位于第一沟道柱和第二沟道柱的表面的栅极氧化层；位于衬底上的若干字线，每个字线环绕覆盖一个沟道柱区中的若干第一沟道柱和若干第二沟道柱表面的栅极氧化层，使得在沟道柱区中最终形成的若干晶体管呈并联连接。由于在每个沟道柱区中相邻的第一沟道柱之间增加了一个第二沟道柱，能够提升动态随机存取存储器的集成度。另外第一中轴线与第二中轴线不重合，能够减少相邻晶体管之间发生短接问题。