[发明专利]提高微通道板增益及微孔内壁化学稳定性的方法有效
| 申请号： | 202110723401.X | 申请日： | 2021-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN113436947B | 公开（公告）日： | 2022-04-22 |
| 发明（设计）人： | 毛汉祺;祝佳祺;张姝丽;郭欣达;万春山;张正君;李臻;乔芳健;李婧雯;刘文伟 | 申请（专利权）人： | 北方夜视技术股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J9/12 | 分类号： | H01J9/12;H01J43/24 |
| 代理公司： | 南京行高知识产权代理有限公司 32404 | 代理人： | 王菊花 |
| 地址： | 650217 云南*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种提高微通道板增益及微孔内壁化学稳定性的方法，将经过腐蚀工艺后得到的具有多孔结构的微通道板进行脱碱工艺处理；所述脱碱工艺的具体步骤如下：将经过腐蚀处理并清洗烘干后的微通道板置于石英篮中，并放入石英玻璃容器中置于洁净的马弗炉中，并将马弗炉升温；向马弗炉中通入氮气，再通入脱碱气体一段时间，停止通入脱碱气体后继续通氮气，之后随炉冷却至室温；将上述处理后的微通道板置于弱酸溶液中，再置于弱碱溶液中腐蚀，最后去离子水中超声振动清洗。本发明的方法在满足微通道板基本结构的基础上，保证了微通道板中碱金属的含量，提高了微通道板二次电子发射系数及内壁化学稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 提高 通道 增益 微孔 内壁 化学 稳定性 方法 | ||
【主权项】：
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