[发明专利]一种高真空智能微水测量装置和方法

摘要

本发明公开了一种高真空智能微水测量装置和方法，包括托板、弯管、传输装置、法兰、电磁阀、玻璃管和单晶硅压力传感器；托板上设置有单晶硅压力传感器和传输装置，单晶硅压力传感器的输出端连接传输装置的输入端，传输装置的输出端连接数据处理装置的输入端；玻璃管设置在法兰上，玻璃管的上端连通冷凝器的排水口，玻璃管的底部设置有出水管道，出水管道上设置有电磁阀；单晶硅压力传感器连通弯管的一端，弯管的一端的另一端连接玻璃管的底部。通过设置玻璃管和单晶硅压力传感器，测量探头上的液体静压与实际大气压之差，用于干燥终点判断。保证检测数据准确度、降低操作人员劳动强度，更好保证产品干燥质量。