[发明专利]硅片移载机构在审
| 申请号： | 202110732155.4 | 申请日： | 2021-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN113460676A | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 许明现;蔡涔;谷士斌;胡林;马胜涛;张杜超;洪昀 | 申请（专利权）人： | 东方日升（常州）新能源有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/90 | 分类号： | B65G47/90;H01L21/677 |
| 代理公司： | 杭州华进联浙知识产权代理有限公司 33250 | 代理人： | 戴贤群 |
| 地址： | 213200 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种硅片移载机构，包括轨道台、第一导轨组件、第二导轨组件、取物件、导向件和驱动机构。轨道台设有运动轨道；第一导轨组件设置于轨道台上；第二导轨组件设置于第一导轨组件上，第二导轨组件能够相对第一导轨组件沿第一方向移动；取物件用于获取硅片，取物件设置于第二导轨组件上，取物件能够相对第二导轨组件沿与第一方向垂直的第二方向移动；导向件一端连接取物件，另一端伸至运动轨道，导向件与运动轨道滑动配合，导向件能够带动取物件沿着运动轨道移动；驱动机构连接导向件，以驱动导向件沿着运动轨道移动。本发明的硅片移载机构能够按照设定的轨迹移载硅片，如此大大提高了移载效率。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 机构 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东方日升（常州）新能源有限公司，未经东方日升（常州）新能源有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110732155.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：硅片的移载方法
- 下一篇：基于多线程的聚类数据处理方法和数据处理设备
