[发明专利]故障检测与分类方法、装置、系统及存储介质在审
| 申请号： | 202110732706.7 | 申请日： | 2021-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN113255840A | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 杨海峰;谭伟良;王璠 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G06K9/62 | 分类号： | G06K9/62;G01R31/26 |
| 代理公司： | 北京海智友知识产权代理事务所(普通合伙) 11455 | 代理人： | 吴京顺 |
| 地址： | 430000 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本公开提供一种故障检测与分类方法、装置、系统及存储介质，该方法包括：通过传感器感测工艺参数的原始数据；根据预定时间段切分所述原始数据；应用频域算法和/或统计概率分布的算法对切分后的数据进行特征提取，得到与产品的至少一个特性具有相关性的特征数据；以及基于所述特征数据对用于所述产品的工艺进行故障检测与分类。本公开通过采用频域算法和/或统计概率分布的算法作为特征提取的算法，可以从频域和概率分布的角度去寻找传感器原始感测数据间的差异特征，在实际应用中可以提取到用常规统计算法无法提取到的特征信息，有效提高对传感器感测数据的处理效率，减少误报和漏报故障信息的情况，并降低半导体工艺的在线流程控制成本。 | ||
| 搜索关键词： | 故障 检测 分类 方法 装置 系统 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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