[发明专利]含非线性机械振子的光机械微腔结构、测量系统及方法有效
| 申请号： | 202110733428.7 | 申请日： | 2021-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN113252085B | 公开（公告）日： | 2021-09-17 |
| 发明（设计）人： | 夏霁;王付印;陈虎;侯庆凯;楼康;王建飞;胡振良;朱敏;熊水东 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军国防科技大学 |
| 主分类号： | G01D5/26 | 分类号： | G01D5/26;G01B11/02;G01M11/00;G02F1/35 |
| 代理公司： | 长沙国科天河知识产权代理有限公司 43225 | 代理人： | 赵小龙 |
| 地址： | 410073 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种含非线性机械振子的光机械微腔结构、测量系统及方法，属于微纳光电子微腔传感领域。在两根一维光子晶体微纳梁构成的光机械微腔中，将可移动的微纳梁设计在一个含有非线性机械振子中，此外使用微盘微腔来监测微型探针的移动来实现非线性机械振子的位移的测量，以实现全光片上集成的腔光力驱动的非线性光‑机械耦合特性的实验研究；同时，还设计了一种基于两路微纳光纤‑光学微腔耦合方法用于同时实现光‑机械耦合泵浦和位移探测，该全光探测系统可以有效地观测光机械微腔系统中的非线性现象。首次提出将一个含有非线性机械振子引入光机械微腔的设计，同时通过实验测量实现对光‑机械耦合作用下的非线性现象的观测。 | ||
| 搜索关键词： | 非线性 机械 结构 测量 系统 方法 | ||
【主权项】：
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