[发明专利]一种测量膜厚的方法有效
| 申请号： | 202110734454.1 | 申请日： | 2021-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN113358042B | 公开（公告）日： | 2023-02-14 |
| 发明（设计）人： | 郑先意 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G06V10/44;G06V10/82;G06N3/04;G06N3/08 |
| 代理公司： | 北京英思普睿知识产权代理有限公司 16018 | 代理人： | 刘莹;聂国斌 |
| 地址： | 430000 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请提供一种测量膜厚的方法，包括：在多层膜图像中标注出不同待标注膜层，并为各待标注膜层生成对应的标注标签；利用多层膜图像与标注标签训练神经网络，以形成分割模型；通过分割模型对待测量图像进行分割，以获得区分出待测量图像中待测量膜层的预测图像，其中，待测量图像与多层膜图像具有相同的膜层数和膜结构；以及根据预测图像获得待测量膜层的厚度。该方法可以实现对大量相似图像中的膜厚度进行自动测量，提高了操作效率和准确度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测量 方法 | ||
【主权项】：
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