[发明专利]晶硅电池扩散低表面深结工艺用扩散炉在审
申请号: | 202110735778.7 | 申请日: | 2021-06-30 |
公开(公告)号: | CN113604886A | 公开(公告)日: | 2021-11-05 |
发明(设计)人: | 王天齐;李种玉 | 申请(专利权)人: | 徐州中辉光伏科技有限公司 |
主分类号: | C30B31/00 | 分类号: | C30B31/00;H01L21/223 |
代理公司: | 南京众联专利代理有限公司 32206 | 代理人: | 张天哲 |
地址: | 221699 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供了一种晶硅电池扩散低表面深结工艺用扩散炉,包括扩散炉主体,扩散炉主体的前侧设有两左右对称设置的炉口组,炉口组包括圆形炉口,圆形炉口的外侧配合安装有炉盖,炉盖与扩散炉主体铰接,通过第一搭扣与扩散炉主体活动连接,炉口组的外侧还配合安装有统一封盖组件,统一封盖组件包括封盖板,封盖板与扩散炉主体铰接,通过搭扣组与扩散炉主体活动连接,封盖板上均布有炉盖口,炉盖口与炉盖外形相适配,并与封盖板远离扩散炉主体中部的一侧连通,封盖板的前侧外自上而下均布有与炉盖口数量相同且位置相对应的炉盖卡扣组件。本发明在保留原有各炉盖可单独启闭的功能下,可实现整体炉盖同时启闭,适应了加工过程中的不同需要。 | ||
搜索关键词: | 电池 扩散 表面 工艺 | ||
【主权项】:
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