[发明专利]一种基于光谱合束的多管蓝光半导体倍频方法及装置有效

专利信息
申请号: 202110736094.9 申请日: 2021-06-30
公开(公告)号: CN113488845B 公开(公告)日: 2023-03-28
发明(设计)人: 袁琴云;陈曦;唐霞辉;王平;方星;刘松嘉;范奥;姚巍 申请(专利权)人: 华中科技大学;深圳华中科技大学研究院
主分类号: H01S5/14 分类号: H01S5/14;H01S5/026;H01S5/183
代理公司: 华中科技大学专利中心 42201 代理人: 李智
地址: 430074 湖北*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明公开了一种基于光谱合束的多管蓝光半导体倍频方法及装置,属于半导体激光技术领域。该方法具体为S1:激发蓝光二极管阵列发出多个光束,并入射至同一区域;S2:对入射到同一区域的多束光束以相同的衍射角衍射,使其成为合束光;S3:将合束光一部分反射回到蓝光二极管阵列形成反馈,用于压缩线宽,另一部分透射输出窄线宽光束;S4:对透射输出的窄线宽光束形成振荡,同时进行倍频后输出;S5:将倍频后的输出光先分光再聚焦,输出深紫外光。还提出了一种基于光谱合束的多管蓝光半导体倍频装置。本发明的方法及装置是一种新型的脉冲电源泵浦多管蓝光二极管阵列倍频系统,可以提高输入蓝光的倍频效率及输出深紫外光的功率。
搜索关键词: 一种 基于 光谱 多管蓝光 半导体 倍频 方法 装置
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