[发明专利]基于MZI干涉系统的硅光加速度计及其制备方法在审
| 申请号： | 202110736787.8 | 申请日： | 2021-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN113465597A | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 刘晓海;吴盟 | 申请（专利权）人： | 欧梯恩智能科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G01C21/16 | 分类号： | G01C21/16;G01P15/03;G01P1/00 |
| 代理公司： | 北京商专润文专利代理事务所(普通合伙) 11317 | 代理人： | 王祖悦 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市姑*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本申请涉及一种基于MZI干涉系统的硅光加速度计，光线从输入端射入，当被施加一个惯性力时，被悬臂梁所支撑的质量块也发生位移，质量块推动测量波导产生应变，由于光弹效应及应变效应作用，测量波导中光的传输相位随着质量块的运动而发生偏移。固定波导和测量波导的光线在输出端前发生MZI干涉，测量输出端的光强即可达到提取所测加速度信号的目的。本申请的光加速度计具有灵敏度高，抗干扰能力强，能够适应恶劣环境或有精密测量需求的环境。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 mzi 干涉 系统 加速度计 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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