[发明专利]具有超晶格结构和超高储能效率的多组分弛豫铁电薄膜材料及其制备方法有效
申请号: | 202110739598.6 | 申请日: | 2021-06-30 |
公开(公告)号: | CN113690051B | 公开(公告)日: | 2023-03-31 |
发明(设计)人: | 陈骞鑫;钟高阔;李江宇;钟向丽;黄明强;王金斌;任传来 | 申请(专利权)人: | 中国科学院深圳先进技术研究院 |
主分类号: | H01G4/12 | 分类号: | H01G4/12;H01G4/008;H01G4/08;H01G4/30 |
代理公司: | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人: | 任志龙 |
地址: | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本申请公开了一种具有超晶格结构和超高储能效率的多组分弛豫铁电薄膜材料及其制备方法。多组分弛豫铁电薄膜材料包括基底层、形成于基底层上的底电极层以及形成于底电极层上的实际功能层,实际功能层为基于底电极层生长的具有弛豫铁电性的多层结构薄膜;其制备方法为:选取晶面取向为[100]的刚性STO层作为基底层;在STO基底上生成SRO层作为底电极层;在SRO层上生成BTO‑STO‑BFO多层结构作为实际功能层,得到多组分弛豫铁电薄膜材料。本申请的多组分弛豫铁电薄膜材料为超晶格结构,具有高饱和极化强度值、低剩余极化强度值、高击穿场强的优点,同时具有优异的储能密度与储能效率。 | ||
搜索关键词: | 具有 晶格 结构 超高 效率 组分 弛豫铁电 薄膜 材料 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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