[发明专利]一种高频双声波模式的双SAW谐振器结构及双SAW滤波器在审
| 申请号： | 202110739690.2 | 申请日： | 2021-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN113411066A | 公开（公告）日： | 2021-09-17 |
| 发明（设计）人： | 陈正林;董加和;马晋毅;陈彦光;唐盘良;李桦林;陆川 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第二十六研究所 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/64 |
| 代理公司： | 重庆博凯知识产权代理有限公司 50212 | 代理人： | 黄河 |
| 地址： | 400060 *** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高频双声波模式的双SAW谐振器结构及双SAW滤波器，该双SAW滤波器结构由下至上依次为衬底、压电薄膜层及换能器叉指电极，其中，衬底采用Si制成，压电薄膜层采用ScAlN制成，换能器叉指电极采用Al制成。采用本发明的双SAW谐振器结构，通过一组通道的叉指换能器布置结构就能够获得双声波模式，大幅减小了谐振器体积和制造成本，同时也有助于简化其应用于双SAW滤波器产品开发的电路设计复杂度，且其压电薄膜材质的选用有助于谐振器结构频率的进一步提升，能够更好的应用于实现双SAW滤波器产品的小型化设计和高频应用；此外，本发明双SAW谐振器结构的制备工艺也容易实现，易于大规模推广应用于具有小型化设计和高频应用需求的双SAW滤波器产品中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高频 双声 模式 saw 谐振器 结构 滤波器 | ||
【主权项】：
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