[发明专利]靶材浇铸的冷却方法、计算机可读存储介质及靶材浇铸装置在审
| 申请号： | 202110745244.2 | 申请日： | 2021-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN113458367A | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 雷雨;周志宏;肖世洪;周昭宇;汪政军 | 申请（专利权）人： | 广州市尤特新材料有限公司 |
| 主分类号： | B22D27/04 | 分类号： | B22D27/04;B22D46/00;B22C9/22;C23C14/35 |
| 代理公司： | 广州永华专利代理有限公司 44478 | 代理人： | 唐立辉 |
| 地址： | 510880 广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及磁控溅射靶材制备技术领域，特别涉及一种靶材浇铸的冷却方法、计算机可读存储介质及应用该靶材浇铸的冷却方法的靶材浇铸装置。靶材浇铸的冷却方法，包括以下步骤：靶材安装步骤.靶材浇铸装置的底座上设有背管安装位，将背管安装在所述背管安装位，将中空管状的浇铸模具与背管同轴地套装在背管外周，将控温装置罩设在安装好浇铸模具的背管外；浇铸步骤.通过控温装置对靶材放置处进行升温处理，将预先处理好的靶材原料自模具与背管之间的空隙注入；冷却步骤.自背管下端往上且自模具侧往外向控温装置侧依次冷却。该靶材浇铸的冷却方法自下而上且自内而外地进行冷却，通过快速喷淋的方式实现快速冷却而又不会造成冷却不均。 | ||
| 搜索关键词： | 浇铸 冷却 方法 计算机 可读 存储 介质 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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