[发明专利]弧面挡尘工装、应用该挡尘工装的旋转靶材热喷涂装置

摘要

本发明涉及靶材制备技术领域，特别涉及一种弧面挡尘工装、应用该挡尘工装的旋转靶材热喷涂装置。旋转靶材热喷涂装置包括靶材安装位、同侧设置的出气口和弧面挡尘工装，该弧面挡尘工装的弧形挡板内表面正对靶材安装位。弧面挡尘工装，包括支撑杆以及装在支撑杆末端的安装座和弧形挡板，挡板的内表面连接安装座，挡板的外表面为外凸的弧面，挡板有多个，这些挡板依次绕安装座设置从而形成以安装座为中心的挡尘弧面，这些安装座和挡板以能够微调相对位置的方式装在支撑杆末端，以使挡板外表面到支撑杆的距离能够在挡尘之前微调，使用本工装，喷涂时靶材两端位置被挡住而减少灰尘，减少靶材端部开裂或致密性差等异常，且操作简单，便于安装调节。