[发明专利]一种真空镀膜无遮挡样品翻转装置有效
| 申请号： | 202110746018.6 | 申请日： | 2021-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN113463056B | 公开（公告）日： | 2022-06-17 |
| 发明（设计）人： | 赵栋才;郑军;王启明;刘兴光;张浩洋;张子扬 | 申请（专利权）人： | 安徽工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 合肥昊晟德专利代理事务所(普通合伙) 34153 | 代理人： | 何梓秋 |
| 地址： | 243032 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空镀膜无遮挡样品翻转装置，属于真空镀膜技术领域，包括上下对称的上部与下部，所述上部与下部均包括样品置物台、样品固定底座、伸缩杆组件、伸缩杆限位筒、伸缩杆驱动组件、旋转座、底座驱动组件、支撑限位组件，所述样品置物台设置在所述样品固定底座上，由所述样品固定底座对其卡紧或放松，所述样品固定底座与所述伸缩杆组件的一端连接，另一端设置在所述伸缩杆限位筒内部，所述伸缩杆限位筒与所述旋转座连接，所述伸缩杆驱动组件驱动所述伸缩杆组件实现伸缩。本发明在样品翻转过程中，并未采用任何夹具的形式，而是通过装置上下两部分互相压紧，然后再完成样品的翻转，不会对样品表面造成任何遮挡。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 遮挡 样品 翻转 装置 | ||
【主权项】：
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