[发明专利]一种薄膜材料及其制备方法和应用有效
| 申请号： | 202110747162.1 | 申请日： | 2021-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN113463051B | 公开（公告）日： | 2023-09-29 |
| 发明（设计）人： | 任萍;王港港;杨晓阳;邱剑勋;司衍鑫 | 申请（专利权）人： | 烟台大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/14 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 赵琪 |
| 地址： | 264005 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： |
本发明提供了一种薄膜材料及其制备方法和应用，属于防护材料技术领域。本发明提供了一种薄膜材料，包括钼元素、硅元素和贵金属元素，所述贵金属元素为金或银，所述钼元素的含量为28～35at.％，所述硅元素的含量为60～70at.％，所述贵金属元素的含量为0.5～1.5at.％，所述贵金属元素以单原子形式存在。本发明中，贵金属Au或Ag单原子的引入，可以调控MoSi |
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| 搜索关键词： | 一种 薄膜 材料 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
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