[发明专利]一种用于石英晶振高频晶片的气液清洗装置有效
申请号: | 202110749359.9 | 申请日: | 2021-07-01 |
公开(公告)号: | CN113441472B | 公开(公告)日: | 2022-08-02 |
发明(设计)人: | 杨燕旋 | 申请(专利权)人: | 深圳市科源信科技有限公司 |
主分类号: | B08B3/12 | 分类号: | B08B3/12;B08B13/00;F26B21/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518048 广东省深圳市福*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公布了一种用于石英晶振高频晶片的气液清洗装置,包括机座,机座上具有工位口,工位口上设有清洗仓,清洗仓内设有支撑柱和与支撑柱活动设置的定位板,定位板与清洗仓之间设有弹簧,工位口的上端设置有盖板,盖板连接驱动源,定位板上具有数个容高频晶片置入的放置槽,放置槽上贯通有清洗孔,定位板上设置有清洗管和与清洗管连通的进气口,清洗管具有多个支管,多个支管分别位于相邻的两放置槽之间,其上具有数个朝放置槽方向贯通的出气孔;其中,盖板在驱动源的作用下,与定位板配合使放置槽形成独立的空间;本发明提出一种用于石英晶振高频晶片的气液清洗装置,旨在解决现有技术中清洗效率低以及清洗后的晶片留有残液的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 石英 高频 晶片 清洗 装置 | ||
【主权项】:
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